技術指標：

尺寸：1500*1000*2350mm、900*1000*2350mm；

1、整體采用PP板材，主體板材厚度7.5mm，臺面15mm；

2、一體式設計：含頂板、排風法蘭、上排風罩、后排風道、操作腔體、下柜結構；

3、配PFA水槍、PFA水龍頭及內部管路；

4、配PFA氣槍及減壓閥和內部管路；

5、置物架，沖孔臺面；

6、柜體下側安裝4個福馬輪及承漏盤；

7、臺面布局可根據(jù)甲方要求定制（水槽位置等）；

8、頂部設計FFU+U16過濾器，整體潔凈度Class100；

   放置到Class100無塵室使用可以達到Class10；

二次配需求:

1、水：在不超過設備定位處1m預留UPW純水點位，尺寸3/8英寸內絲，壓力5kg

2、電：在不超過設備定位處1m預留220V單相三線電源，功率4KW（預留16A插頭即可）

2、氣：N2，1/4英寸不銹鋼卡套連接，壓力不低于 2.0Mpa，位置不超過定位處1m

3、排風250mm不銹鋼法蘭一根，風量1500m3/H位置（設備上方）